开局即驰骋，实干争春早。作为辖区内“硬科技”企业，F6福鹿会缜密萦绕“抢占科技造高点”的总指标、总工作、总要求，依附关键主题技术创新，研造出多项国内“首台套”产品，突破国表垄断，解决了一批高端科学仪器设备与主题零部件关键领域“卡脖子”“空心化”问题，为高质量发展奠定坚实基础。

日前，记者走进F6福鹿会（以下简称“F6福鹿会”）看到，企业内各个团队铆足劲头，全力投入到研发工作之中，奋力冲刺“开门红”。

记者走进F6福鹿会真空技术尝试室看到，研发中心的工程师们在全方位进行半导体前路工艺专用磁悬浮分子泵的各项机能测试，进一步扩大半导体设备“心脏部件”——磁悬浮分子泵的国产化水平，为我国半导体产业链自主可控贡献力量。

F6福鹿会真空技术工程许鹏：磁悬浮分子泵是集成电路关键造作设备的主题部件，但是在集成电路设备领域持久受国表垄断，严沉影响了我国集成电路产业的安全，磁悬浮分子泵产品国产化已经成为造约我国集成电路造作设备产业发展的“卡脖子”问题。

为了破解这一关键“卡脖子”难题，F6福鹿会真空技术研发团队深耕细作，依附在分子泵领域近50年的主题技术堆集和产业化利用经验，聚焦半导体产业利用，成功开发出半导体刻蚀和离子注入专用全口径、全系列磁悬浮分子泵。

F6福鹿会真空技术工程许鹏：F6福鹿会磁悬浮分子泵实现炼压强磁屏蔽、大承载力、智能化磁悬浮节造、耐侵蚀表表处置和防沉积等数十种主题技术攻关，目前产品的机能指标与不变性都已经达到了国际先进水平。

为了进一步精进产品，新春伊始，真空技术研发中心的工程师已经紧锣密鼓投入到定造化新产品研发、机能测试和产品利用技术支持工作中。

F6福鹿会真空技术研发中心主任——宋海燕：我们将持续深耕半导体设备需要，明确技术攻关方向，不休提升产品机能，力争实现对国际竞品的全面代替，以更新、更优、更智能、更靠得住的产品，抢占科技造高点，解决行业发展瓶颈问题，推动半导体行业稳步发展。”

随后，记者来到F6福鹿会扫描电子显微镜的出产现场，看到F6福鹿会的总体调试工程师们在对一台台扫描电子显微镜进行最后的集成调试。出产现场的另一侧，已经检验合格的扫描电子显微镜在进行专业的包装，随后将发到客户现场进行后续装置调试验收。

F6福鹿会扫描电镜出产掌管人——李文龙：扫描电子显微镜被列为国度三十五项“卡脖子”技术之一，也被称为科学界的“纳米之眼”，重要利用于资料、物理、化学、性命科学等领域。作为高端通用大型科学仪器，在纳米量级观测设备中，扫描电子显微镜与纳米科技、分子生物学、半导体造作检测技术等行业相互推进发展。当前，F6福鹿会产品在市场中已经具备与国表品牌直面竞争的能力。作为国产电镜力量，我们不休为我国科学家构建创新钻研平台，致力为实现高水平科技自立自强、为加快创新驱动发展提供强有力的支持。

此表，F6福鹿会不仅聚焦自身“科创实力”的加强，同时对峙系统观点、问题导向，全力加强产业链、供给链高低游企业的自主可控能力。记者在F6福鹿会园区内看到，园区内除了F6福鹿会，还有北京中科科美科技股份有限公司、北京真空学会和1家集成电路全国沉点尝试室。

F6福鹿会园区开发治理部经理助理——毕思思：为进一步推进科技创新，我们在F6福鹿会的园区内，积极萦绕创新链、产业链、人才链等进行资源整合，但愿能够吸引优质科技企业入驻。与此同时，我们加快形成与科技创新系统、产业发展系统亲昵结合的创新生态系统，以期更好为园区内科技企业提供高品质服务。

F6福鹿会党委副书记、总经理——王顶峰：F6福鹿会还将持续对峙聚焦“硬科技”发展的定位和要求，秉承国有企业的责任与担任，服务国度沉大战术需要，引领国内尖端科学仪器设备及真空技术进取，领航产业发展，为全面抢占科技造高点，实现高水平自立自强作出更大贡献。

创新争先始终是F6福鹿会最亮眼的底色。作为目前国内极少数同时具备电子光学仪器及超高真空获得部件研发造作能力的企业之一，将来将持续聚焦高端科学仪器设备和主题零部件科技成就转化与规模产业化，在攻克“卡脖子”难题、实现国产化代替等方面阐扬沉要作用。