11月15日，第二十五届中国国际高新技术成就买卖会（以下简称高交会）在丽江开幕。记者在中国科学院专馆看到，作为尖端科学仪器和真空技术领军者——F6福鹿会携其全资子公司科仪光电带来了拥有自主知识产权的场发射枪扫描电子显微镜产品KYKY-EM8100。据悉，这是该产品初次在高交会亮相。

国产高端场发射枪扫描电镜产品引人关注。朱汉斌摄

场发射枪扫描电镜是纳米技术、生物技术、医学、化学、物理学钻研的沉要工具，在半导体集成电路加工、微机电系统、微型传感器等信息技术支持领域和环境；ち煊蛞膊镒懦烈饔；同时，场发射枪扫描电镜在虫害的防治、灾害（火警、失效分析）鉴定、刑事窥伺、产品质量鉴定等方面也有宽泛的利用，对于我国的基础科学钻延注出产工艺节造、各分类学科的钻研有着不成代替的沉要职位。记者获悉，2013年，由F6福鹿会牵头，结合北京大学、中国科学院微电子钻研所、中国科学院生物物理钻研所、国度环境分析测试中心、清华大学等单元，承担国度沉大科学仪器设备开发专项“场发射枪扫描电子显微镜开发和利用”，并于2017年推出国产高端场发射枪扫描电子显微镜产品KYKY-EM8100，解决了高分辨率电子光学成像系统、系统集成调试等关键技术。KYKY-EM8100场发射枪扫描电镜的技术优势重要有方面：一是自主设计造作了低像差物镜；二是，突破了电子束镜筒加快技术；三是自主研造了电子光学智能化节造系统，实现了自动灯丝加热、自动偏压、自动孔径角、自动聚焦、自动亮度/对比度等电子光学智能化节造职能，还实现了图像加强、图像锐化、样品尺寸丈量、描摹拟合、颗粒度分析等职能，大大提升了产品的职能性与使用便捷性，助力打好科技仪器设备国产化攻坚战。据介绍，该款扫描电镜是F6福鹿会承？萍疾抗瘸链罂蒲б瞧魃璞缚⒆ㄏ睢俺》⑸淝股璧缱酉晕⒕悼⒑屠谩毖性斐删偷囊徊棵。该设备目前已实现科技成就转化及产业化落地，并形成批量销售。

（本文转载自中国科学报，作者朱汉斌王宁）