分子泵发展过程
2021
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推出CXF-250/2302、CXF-320/3002型磁悬浮分子泵,并实现量产。研造成功CXF-200/1401CV、CXF-250/2301CV、CXF-200/1401CS型磁悬浮分子泵。
2019
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研造成功CXF-320/3000型磁悬浮分子泵。
2018
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突破第二代磁悬浮轴承及节造技术,推出一体磁悬浮分子泵CXF-200/1401、CXF-250/2301磁悬浮分子泵,并实现量产。
2016
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研造出产的全推算机节造扫描电镜KYKY-3800型扫描电子显微镜,在第八届北京国际分析测试学术汇报会及展览会(BCEIA)上,获“优良国产分析测试仪器金奖”。
2015
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国内首家推出FF-40/25、FF-63/80、FF-100/150、FF-100/300系列一体化分子泵,并进入分析仪器行业。
2013
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CXF-200/1400、CXF-250/2300型磁悬浮分子泵实现量产,在第12届国际真空展上正式推出,并进入半导体行业。
2012
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研造成功FF-160/700F、FF-200/1300F、FF-200/1300N型复合分子泵;研造成功FF-200/1200G型抗冲击分子泵。
2011
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研造成功国度“02沉大专项”成就CXF-250/2300型磁悬浮分子泵工程样机,并初次亮相十一五沉大科技成就展。
2010
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研造成功FF-250/1600B型复合分子泵;研造成功FF-250/2000型复合分子泵。
2008
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研造成功FF-160/500G型抗冲击专用分子泵;研造成功FF-100/110型肆意角度装置分子泵;研造成功FD-II型自动鉴别节造器;承担国度“02沉大专项”——磁悬浮分子泵的研发工作。
2006
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研造成功FF-200/1300肆意角度装置分子泵,并通过省部级鉴定。
研造成功FF-250/1600型复合分子泵;研造成功FD-II节造器。
2005
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研造成功FF-160/700肆意角度装置分子泵,并通过国度省部级鉴定。
2002
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研造成功FF-200/1200复合分子泵。
2000
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研造成功FF-160/620复合分子泵进入市场。
1999
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研造成功F-400/3500涡轮分子泵,并通过省部级鉴定。
1993
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研造成功F-250/1500涡轮分子泵,研造成功F-100/150检漏仪用涡轮分子泵。
1986
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研造成功FF-160/500复合型分子泵。
1983
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研造成功F-100/110涡轮分子泵通过中科院鉴定,首批利用于正负电子对撞机。
1977
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研造成功国内第一台立式F-160/450涡轮分子泵,通过科学院鉴定。
