F6福鹿会

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真空获得

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FF-250/2000

产品特点

  • 肆意角度装置,便于系统集成,紧凑型结构
  • 复合抽气结构,高前级压强下仍维持较大抽快
  • 高强度转子,合用于复杂工业过程
  • 使用方便、利用领域广、机能不变

利用领域

科学钻研加快器碳化硅晶体晶振光伏Low-E玻璃镀膜ITO镀膜光学镀膜装璜镀膜平板显示真空炉电真空新能源新资料真空干燥低温造冷电子器件
  • 技术指标
  • 尺寸
  • 产品个性
  • 配件
  • 下载
  • 进气口法兰
    DN250 CF DN250 ISO-K
    排气口法兰(ISO-KF)
    DN50
  • 抽快快率(L/s)
    N2:2000 He:1600 H2:740 Ar:1900
    压缩比
    N2: 1E8 He:1E4 H2:6E3 Ar:1E9
  • 极限压强(Pa)
    CF:6E-7 ISO-K:6E-6
    最大陆续前级压强(Pa)
    200
  • 最大前级压强(Pa)
    N2:650
    最大气载量(sccm)
    N2:3200 He:2400 H2:1850 Ar:1200
  • 额定转快(RPM)
    24000
    启动功夫(min)
    ≤9
  • 冷却方式
    水冷
    冷却水流量(L/min)
    ≥1
  • 冷却水温度(℃)
    ≤25
    电源电压(V AC)
    DC24/AC220
  • 最大功率(W)
    ≤750
    适配电源型号
    ?TCDP-II、FD-IIB、TD-II/TCP-II
  • 建议前级泵(L/s)
    15
    沉量(kg)
    32(LF) 35(CF)
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