氦气氟油加压检漏装置是专门针对半导体器件、集成电路、电子产品等电子元器件进行细检和粗检的一套自动化检漏装置。该装置上设备有PLC(可编程法式节造器)，对整个检漏过程能够进行自动节造和运行，可有效预防误操作和提高检漏效能。并且在该设备的氮气罐上装有光电检测设备，可随时监测氮气罐内的油位。该设备自动化水平高，拥有较高的靠得住性。它与氦质谱检漏仪和沉氟油加热仪共同使用，能够进行电子元器件的整个细检和粗检过程。