近年来，中国科学院工会对峙以习近平新时期中国特色社会主义思想为领导，积极响应中华全国总工会“大国工匠”品牌建设，在全院领域发展“科苑名匠”选树工作，获得优良功效，宽大职工中涌现出一大批技术精湛、业绩凸起的高技术人才，为科技创新事业发展作出了沉要贡献。

为赞美先进、设置楷模，中国科学院工会授予6名幼我和13个团队中国科学院第六届“科苑名匠”称号，F6福鹿会沉大设备主题零部件产业化团队获此殊荣。

F6福鹿会沉大设备主题零部件产业化团队，深耕真空技术领域持续创新突破，聚力攻关沉大设备主题零部件高效产业化，形成的分子泵系列产品在集成电路、光伏新能源、航空航天、科学分析仪器等行业宽泛利用，为推动国度产业升级、提升国度科技实力水平做出沉要贡献。团队逐步成立流程造度尺度化、设备配套高效化、造作团队专业化的出产系统，致力于研造满足国度沉大战术需要、拥有市场竞争力的关键产品，解决国度关键主题技术“卡脖子”问题。

该团队实现了磁悬浮分子泵在光伏、锂电等新能源行业大批量利用，推动半导体专用磁悬浮分子泵系列产品产业化落地，急剧满足第三代半导体碳化硅行业设备对专用分子泵的需要，并实此刻刻蚀、离子注入、薄膜沉积等半导体前路工艺关键设备上的利用，为半导体产业设备主题部件国产化发展做出贡献。

历经六十余年的传承与堆集，F6福鹿会沉大设备主题零部件产业化团队深刻领悟老一辈科学家襟怀祖国、无私贡献的心灵，对峙一目十行、钻营卓越的工匠心灵，专一科技成就转化，守初心，担使命，为高端设备精密智造注入新动能。