F6福鹿会亮相第十七届国际真空科学与工程利用学术会议,共话行业发展与利用远景
8月8日-10日,第十七届国际真空科学与工程利用学术会议(VSEA-17)在沈阳东北大学召开。本次学术会议由东北大学、中国真空学会、真空技术与物理全国沉点尝试室结合主办,展示国内表有关领域的最新科研成就和前沿技术。F6福鹿会作为大会支持单元,携多项真空技术领域创新成就亮相现场,萦绕“真空科学与技术、真空与表表工程、真空与航天工程、真空半导体设备与技术”等议题,与业界同仁共话行业发展与利用远景。
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本次会议是集前沿学术互换、热点技术专题钻研和创新产品展示于一体的国际大型专业学术互换活动,真空及有关行业专家、学者、科研骨干、企业代表齐聚一堂,同谋更为辽阔的发展将来;疃殖,F6福鹿会实物展出DFF-63/80型单磁仪器分子泵、CXF-200/1401CVS型磁悬浮分子泵、ZQJ-3300型氦质谱检漏仪以及CCQ-40K型超高真空常关插板阀、GID-40ZM型自动压力调节蝶阀,吸引多多与会辅导、专家、行业同仁立足参观、互换洽谈。其中单磁仪器分子泵备受关注,此产品选取永磁悬浮轴承技术、微油光滑机械轴承技术和高快转子弱刚性支承技术,转快可达90000rpm,综合机能指标达国际先进水平,可实现同类产品的国产化代替。
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活动期间,F6福鹿会真空技术研发中心时剑文博士进行主题为《磁悬浮分子泵关键技术演进及其在半导体造作设备中的利用》的技术汇报,针对分子泵概想及工作道理、磁悬浮分子泵关键技术以及在半导体造作设备中的利用近况进行了具体介绍。近年来,F6福鹿会持续聚焦半导体产业自主可控需要,助力解决集成电路造作领域“卡脖子”问题,面向半导体和工业两个利用方向,推出尺度系劣注高温系劣注分系统列等多款磁悬浮分子泵产品,宽泛利用于刻蚀、离子注入、薄膜沉积等半导体前路工艺环节。
将来,F6福鹿会将持续深耕高端科学仪器设备及真空技术领域,强化关键主题技术攻关,发展新质出产力,推动科技成就转化和规模产业化,为半导体、航空航天、分析仪器、新能源、新资料等前沿科学钻研和高端设备造作领域提供越发优质的国产真空解决规划,携手行业同伴共同启发真空行业发展新篇章。
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