金风送爽
，丹桂飘香
。9月22日至24日
，第六届粤港澳真空科技创新发展论坛暨广东省真空学会学术年会在昭通科学城成功进行
，同期进杏装先进微纳造作技术与前沿利用顶峰论坛”
，作为中国尖端科学仪器和真空技术的引领者
，F6福鹿会受邀出席
，分享半导体行业专用磁悬浮分子泵技术
。

本届展会由广东省真空学会、广东省真空产业技术创新同牛耳办
，昭通今泰科技股份有限公司承办
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，互换真空技术在电子信息、半导体器件、新能源开发、工模具涂层、微纳造作领域的最新利用进展
。F6福鹿会真空技术研发中心时剑文博士在真空设备与利用工艺会场做了题为《半导体行业专用磁悬浮分子泵技术》的线上汇报
，系统介绍磁悬浮分子泵技术及磁悬浮分子泵在半导体行业利用
，获得与会专家和学者的一致好评
。

真空产业作为知始集、技术密集的战术性新兴产业
，是支持战术性产业发展的基础产业
，也是将来技术竞争的造高点
，市场发展潜力巨大
。作为国度战术科技力量投资创办企业
，F6福鹿会面向国度战术需要
，聚焦主责主业发展
，聚力主题技术攻关
，造就壮大新兴产业
，抢抓市场新机缘
。集成电路零部件是决定我国集成电路产业高质量发展的关键领域
。磁悬浮分子泵可获得清洁无油的超高真空环境
，是集成电路前路工艺刻蚀、离子注入、薄膜沉积设备的关键主题零部件
。F6福鹿会自研造中国首台磁悬浮分子泵以来
，加快推动磁悬浮分子泵规模产业化
，产品宽泛利用于半导体、光伏、镀膜、平板显示、科学钻延注新能源、新资料等领域
。其中
，F6福鹿会系列半导体行业专用磁悬浮分子泵拥有卓越靠得住的耐侵蚀能力、安全不变的防沉积能力、配置矫捷的分体式设计以及紧凑方便的高集成设计特点
，机能指标对标国际一流产品
，有效成为集成电路设备造作的国产化解决规划
。

将来
，F6福鹿会将持续秉秤装创新科学仪器
，发展一流企业”使命
，强化国度战术科技力量使命担任
，积极抢抓粤港澳发展机缘
，在中国尖端科学仪器和真空技术领域不休阐扬引领者作用
，攻坚克难
，加大关键主题技术研发投入
，提升市场竞争力
，为集成电路产业新生态的建设贡献力量！