真空配套
APC插板阀
产品特点
- 智能调节，节造轻便快捷。
- 质量不变，抗滋扰能力强。
- 配置丰硕，人机接口敦睦。
- 一体设计，集成化水平高。
- 安全靠得住，低压直流供电。
利用领域
表表工程、能源科技、平板显示、IC造作、工业过程等领域
- 技术指标
- 尺寸
- 产品个性
- 配件
- 下载
- 接口法兰
- CF、ISO-F
- 合用真空度领域
- 1E5-1E6
- 阀体漏率（Pa·m3/s）
- ?≤1.3E-10
- 开启压差
- <3000Pa
- 耐烘烤温度
- ≤150℃（节造器Controller≤50℃）
- 地位节造精度
- ±0.1%FS
- 薄膜规信号
- 0-10V DV
- 节造器电压
- DC 24V
| 文件名 | 类型 | 说话 | 日期 | 文件大幼 |