真空系统
多工位真空贮存柜
产品特点
- 该设备选取各工位独立节造方式 ，可实现独立充放气、氮气洗濯真空度自主设定等职能 ，宽泛利用于电子器件、光电器件、半导体芯片等器件出产过程产品暂存 ，预防氧化。
利用领域
电子器件、光电器件、半导体等
- 技术指标
- 尺寸
- 产品个性
- 配件
- 下载
- 抽真空模式 ，充入氮气量可设定 ，真空度可设定
- 每个工位可独立节造 ，可单独抽气和放气。
- 系统漏率
- <2×10E-3 Pa?mE3/s
- 极限真空度
- 5×10E-5Pa
- 工作真空度
- 8×10E-3Pa
| 文件名 | 类型 | 说话 | 日期 | 文件大幼 |