真空系统
直线式劳挨透镜镀造机
产品特点
- 该设备为国内首台套设备 ，占有纳米多层膜造备、离子束抛光、曲面均匀沉积等多项关键主题技术 ，可实现各类聚焦镜、单色镜、劳埃镜等膜层造备 ，拥有膜层数多（可达数千层） ，膜层地位精度高（均匀误差幼于5nm） ，厚度精度高（误差幼于0.1nm)等特点 ，用于国度沉大科技基础设施高能同步辐射光源（HEPS）项目 ，为基础科学和工程科学等领域原创性、突破性创新钻研提供沉要支持 。
利用领域
高能物理、真空镀膜、前沿科学钻研
- 技术指标
- 尺寸
- 产品个性
- 配件
- 下载
- 活动系统直线度
- ≤30μm/1000mm
- 活动系统快率不变性
- ≤0.1% /300mm
- 基板加热最高温度
- 200℃
- 靶位数
- ≥9个
- 靶与样品间距离
- 60~100mm手动可调
- 沉积室极限真空度
- ＜8×〖10〗^(-6)Pa
- 检测室腔室漏率
- ＜1×〖10〗^(-8)Pa?L/s
- 检测室极限真空度
- ＜8×〖10〗^(-6)Pa
- 进样室基板加热最高温度
- 500℃
- 进样室本底极限真空度
- ＜8×〖10〗^(-5)Pa
| 文件名 | 类型 | 说话 | 日期 | 文件大幼 |